เวเฟอร์ FZ CZ Si ในสต็อก เวเฟอร์ซิลิคอน 12 นิ้ว Prime หรือ Test

เวเฟอร์ขัดเงา

เวเฟอร์ซิลิคอนที่ขัดเงาเป็นพิเศษทั้งสองด้านเพื่อให้ได้พื้นผิวกระจก คุณสมบัติที่เหนือกว่า เช่น ความบริสุทธิ์และความเรียบ คือคุณสมบัติที่ดีที่สุดของเวเฟอร์ชนิดนี้

เวเฟอร์ซิลิคอนที่ไม่ได้เจือปน

เรียกอีกอย่างหนึ่งว่าเวเฟอร์ซิลิคอนแบบอินทรินสิก สารกึ่งตัวนำชนิดนี้เป็นซิลิคอนผลึกบริสุทธิ์ที่ไม่มีสารเจือปนใดๆ อยู่ทั่วเวเฟอร์ จึงทำให้เป็นสารกึ่งตัวนำที่สมบูรณ์แบบ

เวเฟอร์ซิลิคอนโด๊ป

N-type และ P-type เป็นเวเฟอร์ซิลิกอนที่โด๊ปอยู่ 2 ประเภท

เวเฟอร์ซิลิคอนแบบโดปชนิด N มีสารหนูหรือฟอสฟอรัส นิยมใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตอุปกรณ์ CMOS ขั้นสูง

เวเฟอร์ซิลิคอนชนิด P โดปด้วยโบรอน ส่วนใหญ่ใช้ทำวงจรพิมพ์หรือโฟโตลิโทกราฟี

เวเฟอร์เอพิแทกเซียล

เวเฟอร์เอพิแทกเซียลเป็นเวเฟอร์ทั่วไปที่ใช้เพื่อให้ได้พื้นผิวที่สมบูรณ์ เวเฟอร์เอพิแทกเซียลมีให้เลือกทั้งแบบหนาและบาง

เวเฟอร์เอพิแทกเซียลหลายชั้นและเวเฟอร์เอพิแทกเซียลหนาใช้เพื่อควบคุมการใช้พลังงานและการควบคุมกำลังไฟฟ้าของอุปกรณ์ด้วย

เวเฟอร์เอพิแทกเซียลแบบบางมักใช้ในเครื่องมือ MOS ระดับสูง

เวเฟอร์ SOI

เวเฟอร์เหล่านี้ถูกใช้เป็นฉนวนไฟฟ้าสำหรับชั้นซิลิคอนผลึกเดี่ยวขนาดเล็กจากเวเฟอร์ซิลิคอนทั้งหมด เวเฟอร์ SOI มักใช้ในโฟโตนิกส์ซิลิคอนและการใช้งาน RF ประสิทธิภาพสูง เวเฟอร์ SOI ยังใช้เพื่อลดความจุของอุปกรณ์ปรสิตในอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการทำงาน

เหตุใดการผลิตเวเฟอร์จึงเป็นเรื่องยาก?

แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนขนาด 12 นิ้วนั้นตัดได้ยากมากในแง่ของผลผลิต แม้ว่าซิลิคอนจะแข็ง แต่ก็เปราะบางได้เช่นกัน ทำให้เกิดพื้นที่ขรุขระเนื่องจากขอบเวเฟอร์ที่เลื่อยแล้วมีแนวโน้มที่จะแตกหัก แผ่นเพชรถูกนำมาใช้เพื่อทำให้ขอบเวเฟอร์เรียบและกำจัดความเสียหายใดๆ หลังจากการตัด แผ่นเวเฟอร์จะแตกหักได้ง่ายเนื่องจากมีขอบที่คม ขอบเวเฟอร์ได้รับการออกแบบให้ขจัดขอบที่เปราะบางและคมออกและลดโอกาสการลื่นไถล จากการขึ้นรูปขอบ เส้นผ่านศูนย์กลางของเวเฟอร์จะถูกปรับ เวเฟอร์จะถูกทำให้มน (หลังจากตัดแล้ว เวเฟอร์ที่ตัดออกจะเป็นรูปวงรี) และจะทำหรือกำหนดขนาดรอยบากหรือระนาบที่มีทิศทาง