แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน FZ CZ ขนาด 12 นิ้ว พร้อมจำหน่ายแล้ว เหมาะสำหรับใช้งานทั่วไปหรือทดสอบ
แนะนำกล่องเวเฟอร์
เวเฟอร์ขัดเงา
แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนที่ผ่านการขัดเงาเป็นพิเศษทั้งสองด้านเพื่อให้ได้พื้นผิวเรียบเหมือนกระจก คุณสมบัติที่เหนือกว่า เช่น ความบริสุทธิ์และความเรียบเนียน เป็นคุณสมบัติที่ดีที่สุดของแผ่นเวเฟอร์นี้
แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนที่ไม่เจือสาร
แผ่นเวเฟอร์เหล่านี้เรียกอีกอย่างว่าแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนบริสุทธิ์ สารกึ่งตัวนำชนิดนี้เป็นซิลิคอนผลึกบริสุทธิ์โดยไม่มีสารเจือปนใด ๆ ตลอดทั้งแผ่นเวเฟอร์ ทำให้เป็นสารกึ่งตัวนำในอุดมคติและสมบูรณ์แบบ
แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนเจือสาร
เวเฟอร์ซิลิคอนเจือสารชนิด N และชนิด P เป็นเวเฟอร์ซิลิคอนเจือสารสองประเภท
แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนชนิด N-type ที่เจือด้วยสารหนูหรือฟอสฟอรัส มีการใช้งานอย่างแพร่หลายในการผลิตอุปกรณ์ CMOS ขั้นสูง
แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนชนิด P ที่เจือด้วยโบรอน ส่วนใหญ่ใช้ในการผลิตวงจรพิมพ์หรือกระบวนการโฟโตลิโทกราฟี
เวเฟอร์แบบเอพิแท็กเซียล
แผ่นเวเฟอร์แบบเอพิแท็กเซียลเป็นแผ่นเวเฟอร์แบบดั้งเดิมที่ใช้เพื่อให้ได้พื้นผิวที่มีความสมบูรณ์ แผ่นเวเฟอร์แบบเอพิแท็กเซียลมีทั้งแบบหนาและแบบบาง
แผ่นเวเฟอร์แบบเอพิแท็กเซียลหลายชั้นและแผ่นเวเฟอร์แบบเอพิแท็กเซียลหนา ยังถูกนำมาใช้เพื่อควบคุมการใช้พลังงานและการควบคุมกำลังไฟฟ้าของอุปกรณ์ต่างๆ อีกด้วย
แผ่นเวเฟอร์แบบบางชนิดที่ใช้เทคนิคเอพิแท็กเซียล มักถูกนำมาใช้ในเครื่องมือ MOS คุณภาพสูง
เวเฟอร์ SOI
แผ่นเวเฟอร์เหล่านี้ใช้สำหรับเป็นฉนวนไฟฟ้าให้กับชั้นซิลิคอนผลึกเดี่ยวบางๆ จากแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนทั้งหมด แผ่นเวเฟอร์ SOI นิยมใช้ในด้านโฟโตนิกส์ซิลิคอนและการใช้งาน RF ประสิทธิภาพสูง นอกจากนี้ แผ่นเวเฟอร์ SOI ยังใช้เพื่อลดความจุไฟฟ้าแฝงในอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ซึ่งช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการทำงาน
เหตุใดการผลิตเวเฟอร์จึงเป็นเรื่องยาก?
แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนขนาด 12 นิ้วนั้นยากมากที่จะตัดให้ได้ผลผลิตที่ดี แม้ว่าซิลิคอนจะแข็ง แต่ก็เปราะบางเช่นกัน ขอบเวเฟอร์ที่ถูกตัดมักจะแตก ทำให้เกิดบริเวณที่ขรุขระ จึงต้องใช้แผ่นเจียระไนเพชรในการขัดขอบเวเฟอร์ให้เรียบและกำจัดความเสียหาย หลังจากตัดแล้ว เวเฟอร์จะแตกง่ายเพราะมีขอบคม ดังนั้นจึงออกแบบขอบเวเฟอร์ในลักษณะที่กำจัดขอบคมที่เปราะบางและลดโอกาสการลื่นไถล ผลจากการขึ้นรูปขอบทำให้เส้นผ่านศูนย์กลางของเวเฟอร์ถูกปรับเปลี่ยน เวเฟอร์จะโค้งมน (หลังจากตัดแล้ว เวเฟอร์ที่ตัดออกจะมีรูปทรงวงรี) และมีการทำรอยบากหรือระนาบที่กำหนดทิศทาง
แผนภาพโดยละเอียด





