ฉนวนเวเฟอร์ซอยบนเวเฟอร์ซอยซิลิคอน 8 นิ้วและ 6 นิ้ว (ซิลิคอนออนฉนวน)

ประกอบด้วยชั้นซิลิคอนด้านบน ชั้นฉนวนออกไซด์ และซับสเตรตซิลิคอนด้านล่าง เวเฟอร์ SOI สามชั้นมีข้อได้เปรียบที่ไม่มีใครเทียบได้ในโดเมนไมโครอิเล็กทรอนิกส์และ RFชั้นซิลิคอนด้านบนซึ่งมีซิลิกอนผลึกคุณภาพสูง ช่วยให้สามารถรวมส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ที่ซับซ้อนได้อย่างแม่นยำและมีประสิทธิภาพชั้นฉนวนออกไซด์ได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อลดความจุของปรสิต เพิ่มประสิทธิภาพของอุปกรณ์โดยลดการรบกวนทางไฟฟ้าที่ไม่พึงประสงค์พื้นผิวซิลิกอนด้านล่างให้การสนับสนุนทางกลและรับประกันความเข้ากันได้กับเทคโนโลยีการประมวลผลซิลิกอนที่มีอยู่

ในไมโครอิเล็กทรอนิกส์ เวเฟอร์ SOI ทำหน้าที่เป็นรากฐานสำหรับการผลิตวงจรรวมขั้นสูง (IC) ด้วยความเร็วที่เหนือกว่า ประสิทธิภาพการใช้พลังงาน และความน่าเชื่อถือสถาปัตยกรรมสามชั้นช่วยให้สามารถพัฒนาอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่ซับซ้อน เช่น ไอซี CMOS (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor), MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) และอุปกรณ์ไฟฟ้า

ในโดเมน RF เวเฟอร์ SOI แสดงให้เห็นถึงประสิทธิภาพที่โดดเด่นในการออกแบบและการใช้งานอุปกรณ์และระบบ RFความจุปรสิตต่ำ แรงดันพังทลายสูง และคุณสมบัติการแยกที่ดีเยี่ยม ทำให้เป็นซับสเตรตที่เหมาะสำหรับสวิตช์ RF เครื่องขยายสัญญาณ ตัวกรอง และส่วนประกอบ RF อื่นๆนอกจากนี้ ความทนทานต่อรังสีโดยธรรมชาติของแผ่นเวเฟอร์ SOI ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานด้านการบินและอวกาศและการป้องกัน ซึ่งความน่าเชื่อถือในสภาพแวดล้อมที่รุนแรงเป็นสิ่งสำคัญยิ่ง

นอกจากนี้ ความอเนกประสงค์ของเวเฟอร์ SOI ยังขยายไปสู่เทคโนโลยีเกิดใหม่ เช่น วงจรรวมโฟโตนิก (PIC) ซึ่งการบูรณาการส่วนประกอบออปติคอลและอิเล็กทรอนิกส์บนพื้นผิวเดียวถือเป็นคำมั่นสัญญาสำหรับระบบโทรคมนาคมและการสื่อสารข้อมูลยุคหน้า

โดยสรุป เวเฟอร์ซิลิคอนออนฉนวน (SOI) สามชั้นยืนอยู่แถวหน้าของนวัตกรรมในแอปพลิเคชันไมโครอิเล็กทรอนิกส์และ RFสถาปัตยกรรมที่เป็นเอกลักษณ์และคุณลักษณะด้านประสิทธิภาพที่โดดเด่นปูทางไปสู่ความก้าวหน้าในอุตสาหกรรมที่หลากหลาย ขับเคลื่อนความก้าวหน้า และสร้างอนาคตของเทคโนโลยี